下载一种光学参数测量装置的技术资料

文档序号:7363713

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本发明公开一种光学参数测量装置,包括沿光路依次设置的激光器、起偏器、扩束镜、工装、缩束镜、检偏器、光电传感器件、根据第一控制信号控制起偏器、待测光学元件在垂直于光路的平面内移动的第一、第二驱动机构、根据第三控制信号控制起偏器沿其光轴转动的第...
该专利属于北京国科世纪激光技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过北京国科世纪激光技术有限公司授权不得商用。

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