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本发明涉及一种用于将晶体(8)的薄片固定在与所述薄片具有相同性质的但是无定形或细小晶粒尺寸的金属(6)上,所述金属沉积在基板(1)的沟槽中以形成例如互连线的方法。逐步退火将薄片的晶体结构施加于线上。当除去晶体(8)时,由于其晶粒已大大扩展,...该专利属于法国原子能及替代能源委员会所有,仅供学习研究参考,未经过法国原子能及替代能源委员会授权不得商用。
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本发明涉及一种用于将晶体(8)的薄片固定在与所述薄片具有相同性质的但是无定形或细小晶粒尺寸的金属(6)上,所述金属沉积在基板(1)的沟槽中以形成例如互连线的方法。逐步退火将薄片的晶体结构施加于线上。当除去晶体(8)时,由于其晶粒已大大扩展,...