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在本发明中，使在被干燥物的干燥作业中使用的高沸点溶剂沸腾蒸发并从被干燥物表面去除，由此，能够安全地从装置中取出被干燥物，并且，能够回收高沸点溶剂，能够减轻针对环境的负荷并降低运转成本。在导入了沸点比水高的高沸点溶剂(2)的溶剂导入槽(1)内...
该专利属于日本原野株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过日本原野株式会社授权不得商用。

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