被干燥物的干燥方法及其装置制造方法及图纸

在本发明专利技术中，使在被干燥物的干燥作业中使用的高沸点溶剂沸腾蒸发并从被干燥物表面去除，由此，能够安全地从装置中取出被干燥物，并且，能够回收高沸点溶剂，能够减轻针对环境的负荷并降低运转成本。在导入了沸点比水高的高沸点溶剂(2)的溶剂导入槽(1)内，使被干燥物(25)与加热到水的沸点以上的高沸点溶剂(2)接触，使附着于被干燥物(25)的水分沸腾蒸发，然后，在密闭空间内将被干燥物(25)移送到真空干燥槽(10)，在切断了溶剂导入槽(1)与真空干燥槽(10)之间的连通的状态下，对真空干燥槽(10)内进行减压并加热到高沸点溶剂(2)的沸点以上，使附着于被干燥物(25)表面的高沸点溶剂(2)蒸发，对被干燥物(25)进行干燥。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及用于去除附着于电子部件、印刷基板、机械部件等被干燥物上的水分的被干燥物的干燥方法以及在该方法中使用的装置。
技术介绍
以往，作为用于去除由于清洗作业而附着于电子部件、印刷基板、机械部件等被干燥物上的水分的方法，公知有通过离心力来分离水分的方法、对被干燥物吹出热风而使水分蒸发的方法、在比重与水不同的水分分离液中浸渍被干燥物来分离水分的方法等。但是，在上述基于离心力的方法或对被干燥物吹出热风的方法中，在被干燥物具有凹部或空洞的情况下，水分残存在上述凹部或空洞内，难以完全去除水分。并且，在上述使用水分分离液的方法中，水分分离液与水分不混合，所以，无法可靠地从被干燥物去除或分离水分。因此，公知有专利文献1所示的被干燥物的干燥方法。在该方法中，将附着有水分的被干燥物浸渍在沸点比水高的高沸点溶剂中，并且将该高沸点溶剂加热到水的沸点以上且小于高沸点溶剂的沸点，由此，使附着于被干燥物的水分沸腾蒸发。通过使用这种方法， 即使在被干燥物具有凹部或空洞的情况下，高沸点溶剂也进入该凹部或空洞中，所以，能够可靠地使附着于被干燥物的水分沸腾蒸发从而去除。现有技术文献专利文献专利文献1 日本特开平6-7611号公报
技术实现思路
专利技术要解决的课题在专利文献1的方法中，如上所述通过高沸点溶剂的加热使附着于被干燥物的水分蒸发去除后，在被干燥物表面残留有高沸点溶剂，但是，没有记载残留在该被干燥物表面的高沸点溶剂的去除。因此，在附着有高沸点溶剂的状态下从装置中取出被干燥物的情况下，其暴露于外部气体中，高沸点溶剂扩散到大气中，可能对环境造成不良影响。并且，在进行上述处理的情况下，高沸点溶剂扩散到大气中，所以，在下次的干燥作业时必须补充上述扩散量的高沸点溶剂，运转成本高。并且，在进行上述处理的情况下，在从装置中取出被干燥物时，装置内的高沸点溶剂与外部气体接触，所以，由于与该外部气体接触而使高沸点溶剂氧化劣化。因此，必须频繁更换高沸点溶剂，关于这点，运转成本也高。并且，在使用可燃性溶剂作为高沸点溶剂的情况下，当高沸点溶剂扩散到大气中时，可燃性的高沸点溶剂可能与清洗槽外的火、静电等进行反应而引发火灾。因此，本申请专利技术要解决上述课题，在真空干燥槽内使在被干燥物的干燥作业中使用的高沸点溶剂沸腾蒸发并从被干燥物表面去除，由此，能够安全地从装置中取出被干燥物，并且，能够回收高沸点溶剂，能够减轻针对环境的负荷并降低运转成本。用于解决课题的手段为了解决上述课题，本申请第1方面是被干燥物的干燥方法，在导入了沸点比水高的高沸点溶剂的溶剂导入槽内，使附着有水分的被干燥物与加热到水的沸点以上的所述高沸点溶剂接触，使附着于被干燥物的水分沸腾蒸发。另外，关于加热到上述水的沸点以上的高沸点溶剂的加热，可以加热到低于高沸点溶剂的沸点，也可以加热到高沸点溶剂的沸点以上。并且，在权利要求书和本说明书中，“附着有水分的被干燥物”包含“仅附着有水分的被干燥物”和“附着有水分与加工油、界面活性剂等液体的混合液的被干燥物”这双方。然后，在如上所述使附着于被干燥物的水分沸腾蒸发后，在密闭空间内将被干燥物移送到能够切断与上述溶剂导入槽之间的连通的真空干燥槽。然后，在切断了溶剂导入槽与真空干燥槽之间的连通的状态下，对真空干燥槽内进行减压并加热到高沸点溶剂的沸点以上，使附着于被干燥物表面的高沸点溶剂蒸发，对被干燥物进行干燥。并且，本申请第2方面是具体实现上述方法的装置，该装置具有溶剂导入槽，其使附着有水分的被干燥物与加热到水的沸点以上的沸点比水高的高沸点溶剂接触，使附着于被干燥物的水分沸腾蒸发；能够切断与上述溶剂导入槽之间的连通的真空干燥槽，其导入上述水分沸腾蒸发后的被干燥物，通过减压机构对槽内进行减压，并且通过加热机构加热到高沸点溶剂的沸点以上，使附着于被干燥物表面的高沸点溶剂蒸发，能够对被干燥物进行干燥；以及上下移动机构，其在密闭空间内从上述溶剂导入槽向真空干燥槽移送被干燥物。并且，也可以是，溶剂导入槽能够对槽内进行减压。通过这样形成，在溶剂导入槽内，使被干燥物与加热到水的沸点以上的高沸点溶剂接触，使附着于被干燥物的水分沸腾蒸发，或者在高沸点溶剂中浸渍被干燥物来进行被干燥物的浸渍清洗，在该情况下，能够在减压状态下进行这些作业。而且，在减压状态下，与常压相比，氧较少，所以，能够抑制由于上述作业而导致的高沸点溶剂的氧化劣化。因此，能够延长高沸点溶剂的耐用期间，减少高沸点溶剂的更换频度，能够降低运转成本。并且，如上所述，在减压状态下氧较少，所以，即使在使用可燃性溶剂作为高沸点溶剂的情况下，也能够减少引发火灾的可能性，能够安全地使用装置。并且，也可以是，真空干燥槽与蒸气产生槽连接，能够进行被干燥物的蒸气清洗。 通过这样形成，在减压后的真空干燥槽内，不仅能够进行被干燥物的真空干燥，还能够进行被干燥物的减压蒸气清洗，能够提高装置的使用性。并且，与单独设置真空干燥槽和蒸气清洗槽的情况相比，能够节省空间，并且能够降低装置的制造成本。并且，也可以是，密闭空间由溶剂导入槽和真空干燥槽形成。专利技术效果本专利技术如上构成，在溶剂导入槽内，使附着有水分的被干燥物与加热到水的沸点以上的沸点比水高的高沸点溶剂接触，使附着于被干燥物的水分沸腾蒸发，即使在被干燥物具有凹部或空洞的情况下，高沸点溶剂也进入该凹部或空洞中，所以，能够可靠地使附着于被干燥物的水分沸腾蒸发从而去除。并且，水分如上所述沸腾蒸发，所以，水分不会溶解在高沸点溶剂中而产生新的废液，能够减小针对环境的负荷。并且，如上所述水分不混入高沸点溶剂中，所以，能够反复使用高沸点溶剂，能够降低运转成本。并且，通过上述方法，在“密闭空间”内将在溶剂导入槽内使水分沸腾蒸发后的被干燥物移送到能够切断与上述溶剂导入槽之间的连通的真空干燥槽，所以，在被干燥物的移送过程中，被干燥物和附着于被干燥物表面的高沸点溶剂不会与外部气体接触。并且，在上述移送完成后，在上述真空干燥槽内使附着于被干燥物表面的高沸点溶剂蒸发并对被干燥物进行干燥，所以，能够在水分和高沸点溶剂未附着于表面的完全干燥的状态下从装置中取出被干燥物。即，在从装置中取出被干燥物时，高沸点溶剂也不会与外部气体接触。在本申请专利技术中，这样，在从被干燥物去除水分、被干燥物的移送、干燥、以及从装置中取出的全部过程中，高沸点溶剂不与大气接触，高沸点溶剂不会扩散到大气中，所以， 不会对环境造成不良影响。并且，不需要伴随扩散到大气中而补充高沸点溶剂，能够降低运转成本。并且，即使在使用可燃性溶剂作为高沸点溶剂的情况下，高沸点溶剂也不与外部气体接触，不会与装置外的火、静电等进行反应而引发火灾，所以，能够安全地使用装置。附图说明图1是示出在实施例1中在溶剂导入槽内配置了被干燥物的状态的剖视图。图2是示出“第1移送”的完成状态的实施例1的剖视图。图3是示出“第2移送”的完成状态的实施例1的剖视图。具体实施例方式实施例1在图1 3中对本专利技术的实施例1进行说明时，(1)是耐压制的溶剂导入槽，能够导入沸点比水高的高沸点溶剂O)。上述高沸点溶剂( 能够使用氟系溶剂、硅酮系溶剂、 烃系溶剂等非水系溶剂、高级乙醇、N-甲基-2-吡咯烷酮、3-甲氧基-3-甲基丁醇等亲水性溶剂。并且，在上述溶剂导入槽(1)内的下端配置用于对上述高沸点溶剂( 进行加本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：内野正英，
申请(专利权)人：日本原野株式会社，
类型：发明
国别省市：