下载梁膜结合传感器结构的技术资料

文档序号:7357000

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梁膜结合传感器结构,包括底部的支撑梁,支撑梁上部为压敏电阻层,压敏电阻层的表层为钝化膜,所述支撑梁截面呈正立的直角梯形,并在支撑梁的上部设置有一个与压敏电阻层和钝化膜等高的保护条,保护条用于限制压敏电阻层以及压敏电阻层表面的钝化膜进行侧向移...
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