下载氧化物半导体薄膜晶体管及其制造方法的技术资料

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一种氧化物半导体薄膜晶体管包括:栅极电极,栅极电极位于衬底上并具有第一面积;栅极绝缘层,栅极绝缘层位于栅极电极上并覆盖栅极电极;有源层,有源层位于栅极绝缘层上并具有小于第一面积的第二面积;源极电极,源极电极位于有源层上并接触有源层的源极区域...
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