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本发明公开了一种测试样片，用于测量以矩阵形式排列的栅极的线路末端缩短，该测试样片包括基片、形成在基片上的测试材料层和形成在测试材料层上的具有多个测试图案的光刻胶层，其中，测试图案均为矩形凸起，且测试图案以矩阵形式排列。使用根据本发明的测试样...
该专利属于中芯国际集成电路制造（上海）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中芯国际集成电路制造（上海）有限公司授权不得商用。

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