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提供利用形成三维结构的薄膜沉积处理来制造锂-离子电池的系统与方法。在一个实施例中，提供用来形成能量储存装置的阳极结构。所述阳极结构包括导电基板、形成于基板上的多个导电微结构、形成于导电微结构上的钝化膜、及形成于导电微结构上的绝缘分隔层，其中...
该专利属于应用材料公司所有，仅供学习研究参考，未经过应用材料公司授权不得商用。

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