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制造碳化硅衬底的方法和碳化硅衬底技术
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文档序号:7337463
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本发明提供一种制造易于具有大直径的碳化硅衬底(1)的方法,所述方法包括:准备多个SiC衬底(20)的步骤,所述多个SiC衬底(20)各自由单晶碳化硅制得;以及以当俯视观察时所述多个SiC衬底(20)并排排列的方式将所述多个SiC衬底(20)...
该专利属于住友电气工业株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过住友电气工业株式会社授权不得商用。
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