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本发明提供施加到基底的涂层的厚度的测量和/或控制的仪器。实施本发明的仪器包括：涂层去除装置，去除一些涂层，部分暴露基底表面。该仪器还包括传感器装置，用于发射信号并检测从涂层表面和基底的暴露表面反射的信号，以生成一个或多个数据组，数据组包括表...
该专利属于乌多·W·布赫所有，仅供学习研究参考，未经过乌多·W·布赫授权不得商用。

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