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激光割断装置制造方法及图纸
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下载激光割断装置的技术资料
文档序号:7325487
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本发明提供一种激光割断装置,是利用棒状构件而使基板弯曲的激光割断装置,于该装置中,自激光束照射方向观察,能够以激光束照射预定线与棒状构件重合的方式而迅速且正确地定位基板。本发明的激光割断装置设置有:侦测基板(50)的位置的CCD摄影机(38...
该专利属于三星钻石工业股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过三星钻石工业股份有限公司授权不得商用。
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