下载用于CMOS图像传感器的无损杂质掺杂的方法的技术资料

文档序号:7324307

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一种制造背照式像素的方法。该方法包括在基板的正面上或正面中形成像素的正面组件,正面组件包括具有第一极性的感光区。该方法进一步包括在该基板的背面上形成具有第二极性的纯掺杂剂区、将激光脉冲施加至该基板的背面以熔化该纯掺杂剂区,并且使该纯掺杂剂区...
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