下载SiC结势垒肖特基二极管及其制作方法的技术资料

文档序号:7317150

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本发明提供SiC结势垒肖特基二极管,包括肖特基金属下的P型区,所述肖特基金属下的P型区分别由P+-SiC和P--SiC两个区域构成;所述SiC结势垒肖特基二极管的结终端延伸区域由P--SiC区构成。本发明还提供SiC结势垒肖特基二极管的制作...
该专利属于中国科学院微电子研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院微电子研究所授权不得商用。

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