下载提高单晶硅晶棒中氧含量的装置的技术资料

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本实用新型公开了一种提高单晶硅晶棒中氧含量的装置,其特征在于,包括石英坩埚和石英环,所述石英环设置于石英坩埚内。本实用新型中,通过在石英坩埚中放置石英环,增大了硅熔汤与石英的接触面积,可确保有足够的石英分解为晶棒提供氧。即使硅熔汤减少,仍能...
该专利属于上海合晶硅材料有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海合晶硅材料有限公司授权不得商用。

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