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本发明之实施例提供了用于逐段加载及卸载多基材处理室之设备及方法。本发明之一个实施例提供了用于处理多个基材之一设备。此设备包括：一基材支撑盘，此基材支撑盘具有形成多个分段之多个基材腔袋；及一基材处置组件，此基材处置组件经设置以自基材支撑盘之基...
该专利属于应用材料公司所有，仅供学习研究参考，未经过应用材料公司授权不得商用。

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