温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

一种低温变压吸附装置，包括低温制冷机、不锈钢多层腔体、真空泵机组、载气管路及其配套的测控元件；其中低温制冷机的一级冷头与二级冷头密封装在不锈钢腔体中，真空泵机组对腔体与载气管路抽真空，载气管路中的吸附室与制冷机的二级冷头相连，控温仪通过紧贴...
该专利属于中国科学院金属研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院金属研究所授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。