下载一种半导体制冷型顶空测试用采样装置的技术资料

文档序号:7312432

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本发明涉及一种半导体制冷型顶空测试用采样装置,包括抽气泵、采样管线、温度探头、顶空瓶、散热板、半导体冷堆、散热组件及风扇,抽气泵、采样管线及顶空瓶构成采样通路,散热板、半导体冷堆、散热组件及风扇构成制冷通路,半导体冷堆提供冷源。与现有技术相...
该专利属于上海化工研究院所有,仅供学习研究参考,未经过上海化工研究院授权不得商用。

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