下载一种超结高压功率MOSFET器件掺杂结构的染色分析方法的技术资料

文档序号:7305718

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本发明提供了一种超结高压功率MOSFET器件掺杂结构的染色分析方法,包括以下步骤:A、按照体积比HF∶HNO3∶CH3COOH=1∶20∶8的比例进行超结的高压功率MOSFET器件掺杂结构的染色液配制;B、把金相切片好的样品,浸泡入配置好的...
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