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本实用新型公开了一种膜动聚合物微流控芯片,涉及膜动聚合物微流控芯片制造技术领域,包括:第一基板、隔膜、位于所述第一基板的一面上的若干结构部件及位于所述第一基板上的若干第一通孔,还包括:第二基板,所述第二基板一面与所述第一基板另一面相贴合,所...该专利属于北京博晖创新光电技术股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过北京博晖创新光电技术股份有限公司授权不得商用。
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本实用新型公开了一种膜动聚合物微流控芯片,涉及膜动聚合物微流控芯片制造技术领域,包括:第一基板、隔膜、位于所述第一基板的一面上的若干结构部件及位于所述第一基板上的若干第一通孔,还包括:第二基板,所述第二基板一面与所述第一基板另一面相贴合,所...