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真空蒸镀用镀材舟及真空蒸镀系统技术方案
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文档序号:7273668
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本发明提供一种镀材舟和真空蒸镀系统,所述的镀材舟包含:一镀材容器,用以容纳镀材,并具有一开口;一盖板,设置于该镀材容器的开口上方并与该镀材容器保持一预定间隙,且该盖板的垂直投影面覆盖该镀材容器的该开口,使该镀材汽化后所产生的镀材蒸气经由该预...
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