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本发明提供了一种电路布局的调整方法，包括提供布局图形的步骤，所述的布局图形包括具有交叠区域的压应力膜图形和拉应力膜图形，以及在所述交叠区域的接触孔图形，所述交叠区域的边界包括相对的压应力膜图形边界和拉应力膜图形边界，其特征在于，还包括下述步...
该专利属于中芯国际集成电路制造(上海)有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中芯国际集成电路制造(上海)有限公司授权不得商用。

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