下载具有漏极轻掺杂结构的金属氧化物半导体元件的制造方法的技术资料

文档序号:7273103

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本发明提出一种具有漏极轻掺杂(lightly?doped?drain,LDD)结构的金属氧化物半导体(metal?oxide?semiconductor,MOS)元件的制造方法,包含:提供第一导电型的基板;于基板中形成绝缘结构以定义元件区;...
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