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本实用新型公开了单晶硅棒端面研磨设备，它包括设置在上下移动工作台（18）上并可变速旋转的研磨盘（2），所述研磨盘包括可随旋转主轴（33）转动的中间盘（30）、与中间盘固定相连的上模板（24）和下模板（25）、以及固定设置在下模板上的研磨层（...
该专利属于江西金葵能源科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江西金葵能源科技有限公司授权不得商用。

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