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本发明公开了用于蚀刻导电多层膜的蚀刻剂组合物和使用其的蚀刻方法。该蚀刻剂组合物包含基于所述组合物总重量的50-80重量％的磷酸、0.5-10重量％的硝酸、5-30重量％的乙酸、0.01-5重量％的咪唑，并且余量为水。该多层膜包含至少一个铜或...
该专利属于普兰西公司所有，仅供学习研究参考，未经过普兰西公司授权不得商用。

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