下载一种测量膜基反射镜三维面形的方法的技术资料

文档序号:7261690

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本发明公开了一种测量膜基反射镜三维面形的方法。测量系统包括液晶显示器、标准平面反射镜、CCD、图像采集卡和计算机等。液晶显示器显示由计算机输入的正交正弦条纹,CCD采集被标准平面反射镜和膜基反射镜反射后的复合条纹,系统利用傅立叶变换轮廓术提...
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