【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种三维面形的光学测量方法,具体涉及一种基于正交条纹反射的膜基反射镜的三维面形测量方法。
技术介绍
随着空间技术的迅猛发展,迫切要求空间光学望远镜系统具有大口径、超轻型、制造周期短、研发成本相对低廉等特点。与其他传统的反射镜相比,空间薄膜反射镜以柔性薄膜材料为基胚,具有可折叠和展开、重量轻以及成本低等特点,在研制大口径、超轻型空间望远镜系统领域具有传统光学系统制造技术无法比拟的优势。由于膜基反射镜本身的特点,如对环境敏感、质薄等,使得其面形不能用常规的面形检测方法进行检测。目前膜基反射镜的面形检测方法主要有三类,一是采用标准波面照射膜基反射镜后,取其反射光,利用波前传感器对反射光波前进行分析,计算波前和^rnike系数,得出反射镜面形参数。二是对口径较小的膜基反射镜采用干涉检验方法进行面形检测,如采用干涉仪、莫尔条纹进行检测。三是利用反射镜对物体成像,由成像质量的来评价反射镜面形的好坏。然而以上方法都具有一定的局限性,如需要专门的软件、成本高、不能用于较大口径的反射镜检测等。对于镜面反射物体的面形检测,除了以干涉检测法为主的传统方法外,又提出了身寸 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。