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本实用新型提供一种缩短外延尾气处理器维护时间的装置。它包括：水池、水雾过滤器，盲板，所述的盲板上装有以下几条进入水槽的管路：氮气吹扫管道；自来水管道；由泵输送化学液的管道；连接水泵的管道，该管道通入水池的一端带有漏斗。本实用新型优点是：引入...该专利属于北京有色金属研究总院;有研半导体材料股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京有色金属研究总院;有研半导体材料股份有限公司授权不得商用。