一种缩短外延尾气处理器维护时间的装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供一种缩短外延尾气处理器维护时间的装置。它包括：水池、水雾过滤器，盲板，所述的盲板上装有以下几条进入水槽的管路：氮气吹扫管道；自来水管道；由泵输送化学液的管道；连接水泵的管道，该管道通入水池的一端带有漏斗。本实用新型专利技术优点是：引入自动加碱和氮气吹扫管路，在不拆开尾气处理器的基础上，通过对尾气处理系统的改进，可以减少系统的维护时间、延长维护周期，整体上提高外延工艺的生产效率，在整个维护过程避免了相关管路的拆卸，从而避免的管路中残余气体的泄漏。（*该技术在2017年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种缩短外延尾气处理器维护时间的装置。
技术介绍
外延工艺中需要大量的HCL,三氯氢硅(TCS) ,BA， PH:,， H2等特殊气体，其 中，TCS,B晶，PH,都为剧毒气体，这些气体会影响厂房周边的人生和环境安全， 需要避免直接排入空气中，尾气处理器是外延工艺过程中必须的尾气处理装置。 外延用尾气处理器是专门设计处理外延尾气废气的装置。通过外延炉的排气管和 尾气处理器的进气口连接，外延废气进入尾气处理内发生反应，然后排出无污染 的气体。一般的尾气处理装置包括燃烧式、水洗式、沉积式三种。水洗式通过尾气处 理器的排气口和一个特制的文氏管连接，依靠文氏管提供的负压，使得外延炉内 的工艺气体被抽入尾气处理器内。在尾气处理器内，外延废气中的HCL, TCS, BA, PH,经过不断的水洗，充分和水发生反应而被去除。剩余的H:,、 N2被排到空气中。 其中TCS(三氯氮硅)和水的反应为2SiHCi3 + 3H20 — OSiH-OSiH=0+ 6HC1生成的S^HA为粉末状固体，而且随着时间的延长，这些粉末会聚集，生 成白色絮状物，堵塞进气口。在常压外延工艺中尾气处理器主要有两个作用1本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种缩短外延尾气处理器维护时间的装置，它包括：水池、水雾过虑器，盲板，其特征在于：所述的盲板上装有以下几条进入水槽的管路：氮气吹扫管道；自来水管道；由泵输送化学液的管道；连接水泵的管道，该管道通入水池的一端带有漏斗。

【技术特征摘要】
1、一种缩短外延尾气处理器维护时间的装置，它包括水池、水雾过虑器，盲板，其特征在于所述的盲板上装有以下几条进入水槽的管路氮气吹扫管道；自来水管道；由泵输送化学液的管道；连接水泵的管道...

【专利技术属性】
技术研发人员：何自强，冯泉林，常青，
申请(专利权)人：北京有色金属研究总院，有研半导体材料股份有限公司，
类型：实用新型
国别省市：11[中国|北京]