温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

一种晶体硅重扩磷吸杂酸腐去杂的制备方法，包括以下步骤：提供单晶硅片进行表面织构化；在硅片的背面贴上磷脂，将硅片放入扩散炉中双面扩散，在硅片的背面形成重掺杂达到吸杂的效果；采用湿法刻蚀将硅片四周的PN结与背面重扩吸杂形成的杂质层去除；然后PE...
该专利属于浙江波力胜新能源科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过浙江波力胜新能源科技有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。