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一种纳米图形化和超宽频电磁特性测量系统，包括电源、控制装置和测量装置，所述控制装置与所述测量装置连接，所述控制装置和所述测量装置分别与所述电源连接，所述测量装置包括具有SEM成像或EBL图形化功能的成像装置、真空腔、真空系统、样品台和磁场响...该专利属于中国科学院物理研究所;北京汇德信科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院物理研究所;北京汇德信科技有限公司授权不得商用。