下载一种太阳能硅片的裂片工具的技术资料

文档序号:7257521

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本实用新型公开了一种太阳能硅片的裂片工具,所述裂片工具包括一弹性的硅片承托板,以及滚碾硅片使硅片分裂为若干晶粒的硬质胶棒,所述硅片承托板上设置有若干个呈阵列排布的容纳硅片的凹槽,所述凹槽的深度小于硅片厚度;在所述硅片承托板下还设有衬板。由于...
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