温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

一种基于二维位置敏感传感器的空间六自由度物体定位系统，针对光刻机硅片台、掩膜台的定位而发明。该系统主要包括半导体激光器、光纤准直器、光纤、光纤分路器、滤光片、三个PSD传感器及信号处理系统。半导体激光器发射的激光照射到光纤准直器上，后经光纤...
该专利属于清华大学所有，仅供学习研究参考，未经过清华大学授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。