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本实用新型公开了单晶硅棒端面研磨盘，它包括可随旋转主轴（15）转动的中间盘（12）、与中间盘固定相连的上模板（6）和下模板（7）、以及固定设置在下模板上的研磨层（9），所述中间盘内设置有可通入研磨液的贮液腔（13），贮液腔与进液管（11）上...
该专利属于江西金葵能源科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江西金葵能源科技有限公司授权不得商用。

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