下载Ⅲ族氮化物纳米棒发光装置及其制造方法的技术资料

文档序号:7251331

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本发明公开了一种Ⅲ族氮化物纳米棒发光装置及其制造方法。所述方法包括:准备基底;在基底上形成包括暴露部分基底的一个或多个开口的绝缘膜;通过向被开口暴露的基底提供Ⅲ族源气体和氮(N)源气体在被开口暴露的基底上生长第一导电Ⅲ族氮化物纳米棒晶种层;...
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