下载太阳能晶圆位置校准装置及具有该检测装置的检测机台的技术资料

文档序号:7243501

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太阳能晶圆位置校准装置及具有该检测装置的检测机台,是由一个移载装置将太阳能晶圆移载至一道输送带上以进行输送,且机台上设有光学检测装置及光照检测装置,并对应于各项检测装置的检测位置更设有一个夹持件,其夹持件是用以进行太阳能晶圆于移载及输送过程...
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