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本发明公开了一种低氧坩埚生产方法，工艺步骤为在电极放电，石英砂融化成型后，坩埚内壁的温度一般在1300～2000度左右，然后通过一个送气装置，向坩埚内壁均匀吹入高纯度的氮气，氮气与石英砂中的硅在高温下反应生成氮化硅膜，成为一层保护介质。本发...
该专利属于南通路博石英材料有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过南通路博石英材料有限公司授权不得商用。

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