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用于从载体中分离晶片的装置和方法制造方法及图纸
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下载用于从载体中分离晶片的装置和方法的技术资料
文档序号:7236592
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一种用于从通过连接层与晶片相连接的载体中分离晶片的装置,其带有用于接收由载体与晶片构成的载体晶片复合体的接收装置、用于解开载体与晶片之间的通过连接层设置的连接的解开连接器件和用于从载体中分离晶片或者从晶片中分离载体的分离器件,其中,解开连接...
该专利属于EV集团有限责任公司所有,仅供学习研究参考,未经过EV集团有限责任公司授权不得商用。
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