下载单晶炉接晶盘自动旋转装置的技术资料

文档序号:7232147

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型公开了一种单晶炉接晶盘自动旋转装置,包括U型接晶盘,U型接晶盘的底板上设置有缓冲套,缓冲套对应副炉室内径中心线位置设置,在副炉室的两侧分别安装有随动轴安装底板和气缸安装底板;U型接晶盘一边端面与随动端轴套的外端连接,随动端轴套通过...
该专利属于西安理工晶体科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过西安理工晶体科技有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。