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文档序号:7218456
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流量传感器包括构造成接纳流体的流体室。膜片组件构造成只要流体室内的流体移位就移位。传感器组件构造成监控膜片组件的位移,并且至少部分地基于在流体室内移位的流体的量来生成信号。...
该专利属于德卡产品有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过德卡产品有限公司授权不得商用。
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