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本发明涉及Al掺杂的氧化锌薄膜及其制备方法。通过脉冲激光沉积的方法制备的Al掺杂的氧化锌薄膜具有良好的c轴外延生长结构，表面质量较好，厚度为430nm。本发明的Al掺杂的氧化锌薄膜由于制备过程中引入了一层非晶SiO2过渡层既能够减小薄膜和S...
该专利属于上海电力学院所有，仅供学习研究参考，未经过上海电力学院授权不得商用。

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