下载一种p型导电氧化锌薄膜材料及制备方法的技术资料

文档序号:7206810

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开了一种p型导电氧化锌薄膜材料,其包括衬底及生长于衬底上的外延层,自衬底至外延层之间依次设有金属镁层、氧化镁层、生长温度逐渐升高的第一氧化锌层与第二氧化锌层;外延层为在氧化锌合金中掺入受主元素B和掺入A原子形成的p型AZnO:B层。...
该专利属于中山大学所有,仅供学习研究参考,未经过中山大学授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。