下载半导体元件的高速测试装置及其探针载台的技术资料

文档序号:7205959

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本发明的测试装置,包含一壳体,被构造为界定一测试室;一元件载台,设置于该壳体内且被构造为承载至少一待测元件;以及至少一探针载台,设置于该壳体内。在本发明的一实施例中,该探针载台包含一基座;一置放臂,枢接于该基座,该置放臂包含一固持部,被构造...
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