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本实用新型提供一种用于移动石墨舟上半导体晶粒的装置，包括：内设有空腔的把手、大盖板、至少一个小盖板、上固定板和下固定板；所述把手一端设有一与所述空腔连通的气嘴，此把手下表面设有至少一个与所述空腔连通的第一通气孔；所述小盖板上设有第一凹槽，此...
该专利属于苏州固锝电子股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州固锝电子股份有限公司授权不得商用。

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