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本发明涉及一种甩版清洗机，包括甩版清洗机控制电路、驱动装置、光刻版夹持装置、出水阀、喷水头、出气阀、喷气头、加热装置以及管线；甩版清洗机控制电路与驱动装置、出水阀、出气阀以及加热装置电连接，用于控制驱动装置驱动光刻版夹持装置绕转轴旋转，还用...
该专利属于深圳深爱半导体股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳深爱半导体股份有限公司授权不得商用。

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