下载一种氮化碳场发射阴极的制备方法的技术资料

文档序号:7175117

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本发明公开了一种CNx场发射阴极的制作方法,该方法选择钛片作为基底,利用悬浊液静置沉降法在基底上形成含有CNx的胶膜,通过HFCVD热处理在基底与CNx颗粒之间键合生成TiC过渡层。其制作方法包括:先对基底钛片进行抛光处理,然后利用悬浊液静...
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