下载磁盘基板用研磨液组合物的技术资料

文档序号:7164061

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本发明提供一种可以实现研磨后的划痕、纳米突起缺陷和基板表面波纹的减少的磁盘基板用研磨液组合物。本发明的磁盘基板用研磨液组合物含有共聚物或其盐、研磨材料和水,所述共聚物具有由在20℃的100g水中的溶解度为2g以下的单体衍生的结构单元和具有磺...
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