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磁盘基板用研磨液组合物制造技术
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文档序号:7164061
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本发明提供一种可以实现研磨后的划痕、纳米突起缺陷和基板表面波纹的减少的磁盘基板用研磨液组合物。本发明的磁盘基板用研磨液组合物含有共聚物或其盐、研磨材料和水,所述共聚物具有由在20℃的100g水中的溶解度为2g以下的单体衍生的结构单元和具有磺...
该专利属于花王株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过花王株式会社授权不得商用。
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