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层叠有宽带隙半导体的复合基板的制造方法技术
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文档序号:7162384
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本发明提供了一种制造低成本结合晶片(8)的方法,该方法能使宽带隙半导体(1)的块状晶体尽量薄地转印到处理基板(3)上而不破坏基板。该方法是通过在处理基板(3)的表面上形成宽带隙半导体薄膜层(4)来制造结合晶片(8),该方法包括以下步骤:从具...
该专利属于信越化学工业株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过信越化学工业株式会社授权不得商用。
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