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本发明的衬底冷却装置是进行完成处理后的衬底的冷却的衬底冷却装置，其特征在于，具备：框体，在内部具有收纳衬底的空间；一对保持部，相互相对地设置在所述框体的内壁上，具有支撑所述衬底的端部附近的槽部；及具有冷却单元的一对冷却部，夹着所述一对保持部...
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