下载探针单元用基座构件及探针单元的技术资料

文档序号:7158617

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本发明提供一种具有较高刚性且在制造上不会费时费工的探针单元用基座构件及探针单元。为此目的,本发明具备:导电性的基板(41),其具有能够安装探针架座(3)的第一开口部(41a)及与第一开口部(41a)连通的第二开口部(41b);被膜(42),...
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