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一种用于工件的等离子体浸没式离子注入方法，该工件在其顶表面具有光刻胶掩模，该方法用以防止由该光刻胶碳化引起的光刻胶失效。该方法包括执行连续离子注入子步骤，每一个所述离子注入子步骤都具有一段持续时间，在该段持续时间期间，仅该光刻胶层的部分顶部...
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